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真空紫外濾光片是一種專門用于過濾真空紫外波段（波長范圍通常為10-200nm）光線的光學元件。
濾光片
光學性能方面?
- 波長選擇性高：能在真空紫外波段（通常指10-200nm波長范圍）對特定波長的光進行精準篩選，只允許特定波長的真空紫外光通過，而將其他波長的光有效截止。比如在120-200納米之間透射穩(wěn)定，可用于隔離和探測特定的真空紫外光譜線。
- 高透過率與低吸收率：采用特殊的鍍膜材料和工藝，在其通帶范圍內(nèi)具有較高的透過率，使需要的真空紫外光能夠盡可能多地通過濾光片，減少光能量的損失。同時，對通帶內(nèi)的光吸收率較低，以保證光信號的強度和質(zhì)量。
- 深截止特性：在通帶以外的波長區(qū)域，具有良好的截止性能，能夠?qū)⒉恍枰墓獾耐干渎式档偷胶艿偷乃?，通常可以達到OD2（光密度為2，即透射率為1%）甚至更低，有效抑制背景光和雜散光，提高信號的對比度和純度。
材料與結構方面
- 特殊材料選擇：由于真空紫外光的高能量和特殊的光學性質(zhì)，濾光片的基片和鍍膜材料需要具有在真空紫外波段良好的光學透明性、低吸收和低散射特性。常用的基片材料有氟化鎂（MgF2）等氟化物，它們在200nm以下的波長仍能保持較好的透光性。
- 多層膜結構：一般采用多層膜結構來實現(xiàn)其光學性能。通過在基片上交替沉積不同折射率和厚度的金屬和介質(zhì)薄膜，利用光的干涉原理，使特定波長的光相互加強而透過，其他波長的光相互抵消而被反射或吸收。這種多層膜結構可以精確控制濾光片的光譜特性。
物理與環(huán)境性能方面?
- 表面質(zhì)量高：通常具有良好的表面平整度和光潔度，減少光的散射和衍射，保證光的傳輸和成像質(zhì)量。
- 穩(wěn)定性好：在真空環(huán)境和一定的溫度、濕度等條件下，能保持其光學性能和物理性能的穩(wěn)定，可抵抗一定程度的溫度變化、機械振動等環(huán)境因素的影響，確保在不同的工作環(huán)境下都能正常工作。
- 抗輻射能力強：由于經(jīng)常會在一些涉及高能量輻射的真空紫外應用場景中使用，如準分子激光器等，所以具有一定的抗輻射能力，能夠在高能量真空紫外光的長期照射下，不發(fā)生明顯的性能退化和損壞。
應用適應性方面?
- 針對性強：可根據(jù)不同的應用需求，設計和制造具有特定中心波長、帶寬和截止特性的真空紫外濾光片，滿足如拉曼光譜、準分子激光器、空間天文測量等各種不同領域?qū)φ婵兆贤夤膺^濾的特定要求。
- 兼容性好：能夠與其他光學元件和光學系統(tǒng)很好地配合使用，如與真空紫外光源、探測器等組成完整的光學探測和分析系統(tǒng)，在不影響整個系統(tǒng)性能的前提下，發(fā)揮其濾光作用，提高系統(tǒng)的整體性能和可靠性。
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